SiC-Politur für Hochleistungsoptik
Optische Oberflächenqualität auf einem der härtesten technischen Werkstoffe
Siliziumcarbid (SiC) vereint hohe Steifigkeit, thermische Stabilität und geringe Dichte — ideale Eigenschaften für Spiegel, Strukturbauteile und Komponenten in der Weltraumoptik, Halbleiterfertigung und Lithographie. Die Herausforderung liegt in der Politur: SiC-Oberflächen müssen mit hochpoliertem Glas vergleichbar sein — bei einem Material, das konventionelle Polierverfahren an ihre Grenzen bringt.
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AUSGANGSLAGE
Herausforderung
Die extreme Härte und Sprödigkeit von SiC macht die Bearbeitung besonders anspruchsvoll. Konventionelle Polierverfahren führen zu langen Prozesszeiten, hohem Werkzeugverschleiß und eingeschränkter Prozessstabilität. Gleichzeitig werden Sub-Nanometer-Rauheiten, höchste Formgenauigkeit und minimale Randzonenschädigung gefordert.
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UNSER ANSATZ
Lösung
Das VGP-Verfahren in Kombination mit der PRECESS-Poliertechnik ermöglicht einen kontrollierten Materialabtrag durch homogene Druckverteilung und definierte Kinematik. Das Ergebnis: optische Oberflächenqualität auf SiC — reproduzierbar, effizient und mit deutlich reduzierten Prozesszeiten.
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MEHRWERT
Vorteile
✓
Gleichmäßiger Abtrag:
Homogene Druckverteilung für konstante Oberflächenqualität über das gesamte Bauteil.
✓
Prozessstabil:
Reproduzierbare Ergebnisse durch stabile, gravitationsbasierte Prozessführung.
✓
Kosteneffizient:
Optimierter Werkzeugverschleiß senkt die Prozesskosten.
✓
Geometrieflexibel:
Bearbeitung komplexer Formen einschließlich Asphären.